專(zhuān)業(yè)的TC Wafer、RTD Wafer、On Wafer測(cè)溫系統(tǒng)提供精確控溫保障
成熟測(cè)溫系統(tǒng)軟件，具備Mapping功能，溫度情況一目了然
多尺寸wafer可供選擇，滿(mǎn)足客戶(hù)不同wafer尺寸控溫要求
AGS 晶圓型間隙量測(cè)試片
AMS 晶圓型多功能測(cè)試片
ALS晶圓型水平測(cè)試校準(zhǔn)片
測(cè)溫材質(zhì)可選擇硅晶片、藍(lán)寶石等
提供2”、3”、4”、6”、8”、12”晶圓供選擇
晶圓形狀可有圓形和方式選擇
測(cè)溫點(diǎn)數(shù)：1-81點(diǎn)
配備專(zhuān)業(yè)的售前和售后服務(wù)工程師
提供售前產(chǎn)品咨詢(xún)、選型、購(gòu)買(mǎi)和售后安裝、使用、維護(hù)服務(wù)
專(zhuān)業(yè)的維修服務(wù)為客戶(hù)進(jìn)一步提高經(jīng)濟(jì)效益
廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
廣東瑞樂(lè)半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“瑞樂(lè)半導(dǎo)體”）成立于2016年，是專(zhuān)業(yè)的晶圓測(cè)溫系統(tǒng)和晶圓校準(zhǔn)成套系統(tǒng)的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品有TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)（有線(xiàn)/無(wú)線(xiàn)）、On Wafer無(wú)線(xiàn)晶圓測(cè)溫系統(tǒng)，AMS無(wú)線(xiàn)校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)、ATS無(wú)線(xiàn)校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)等，為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度的晶圓測(cè)溫解決方案和晶圓校準(zhǔn)測(cè)量解決方案。主要測(cè)溫應(yīng)用場(chǎng)景包括：半導(dǎo)體制程中的爐管、勻膠顯影機(jī)、PVD Chamber 、? CVD Chamber、RTP/RTA Chamber 、去膠Strippers、靜電卡盤(pán)（ESC）、加熱板 Hot Plates、致冷盤(pán) Cold Plates、后段探針臺(tái)、等離子蝕刻、離子注入、清洗、化學(xué)機(jī)械拋光、蒸鍍等場(chǎng)景，以及半導(dǎo)體制程中涂膠顯影、退火、刻蝕、薄膜沉積，制程腔體溫度、濕度、位置、尺寸校準(zhǔn)，晶圓傳輸狀態(tài)測(cè)量等。
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