?AMS無線晶圓校準(zhǔn)測量系統(tǒng)

AMS 無線校準(zhǔn)測量晶圓系統(tǒng)通過專業(yè)技術(shù)將多個(gè)傳感器模塊集成到晶圓上，能夠快速測量加速度、振動、水平、調(diào)平角度、濕度、溫度等參數(shù)，幫助提高半導(dǎo)體機(jī)臺設(shè)備的調(diào)試效率，AMS 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用有助于提升設(shè)備的調(diào)試效率和生產(chǎn)過程的控制精度。

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產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、無線測溫采集：傳感器無需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù)，滿足晶圓在復(fù)雜性狀況下通過無線通信方式進(jìn)行參數(shù)測量。

2、多參數(shù)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)控：AMS 可專業(yè)測量晶圓在制程中的加速度、振動、水平、調(diào)平角度、濕度溫度等關(guān)鍵參數(shù)。

1、高精度與靈敏度：傳感器具有高精度和靈敏度，能夠滿足嚴(yán)格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。

2、支持過程調(diào)整與驗(yàn)證：通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

5、輕巧的設(shè)計(jì)：AMS系統(tǒng)的輕巧設(shè)計(jì)使其能夠適應(yīng)更多的設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境，尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。

6、低功耗性能：低功耗的特性實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時(shí)間運(yùn)行。

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