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晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

RTD-低溫/高精度-儀表化晶圓電阻溫度探測(cè)器(RTD)-最高溫度240 C 儀器化晶圓rtd工作原理是在一定的溫度范圍內(nèi),某些金屬的電阻以可重復(fù)和可預(yù)測(cè)的方式增加或減少。與熱電偶晶片相比,RTD的儀器晶片具有更高的精度和更高的穩(wěn)定性,為監(jiān)控半導(dǎo)體制造設(shè)備提供了額外的選擇。