第三代半導(dǎo)體是以碳化硅SiC、氮化鎵GaN為主的寬禁帶半導(dǎo)體材料,具有高擊穿電場、高飽和電子速度、高熱導(dǎo)率、高電子密度、高遷移率、可承受大功率等特點。
已被認為是當今電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新動力,以第三代半導(dǎo)體的典型代表碳化硅(SiC)為例,碳化硅具有高臨界磁場、高電子飽和速度與極高熱導(dǎo)率等特點,使得其器件適用于高頻高溫的應(yīng)用場景,相較于硅器件,碳化硅器件可以顯著降低開關(guān)損耗。
第三代半導(dǎo)體材料有抗高溫、高功率、高壓、高頻以及高輻射等特性,相比第一代硅基半導(dǎo)體可以降低50%以上的能量損失,同時使裝備體積減小75%以上。第三代半導(dǎo)體屬于后摩爾定律概念,制程和設(shè)備要求相對不高,難點在于第三代半導(dǎo)體材料的制備,同時在設(shè)計上要有優(yōu)勢。
第三代半導(dǎo)體芯片