熱電偶作用:直接測量溫度【晶圓測溫系統(tǒng)】
在溫度測量中,熱電偶的使用極為廣泛,它具有結(jié)構(gòu)簡單、制造便捷、測量范圍廣、精度高、慣性小和輸出信號有利于遠(yuǎn)傳等很多優(yōu)點(diǎn)。此外,因?yàn)闊犭娕际且活愑性磦鞲衅鳎瑴y量時(shí)不需外加電源,操作非常方便,所以常被用作測量爐子、管道內(nèi)的氣體或液體溫度及固體的外表溫度
熱電偶的工作原理
當(dāng)有兩種不同導(dǎo)體或半導(dǎo)體A和B組成一個(gè)回路,其兩端相互連接時(shí),如果兩結(jié)點(diǎn)處的溫度不同,一端溫度為T,稱之為工作端或熱端,另一端溫度為T0,稱之為自由端(也稱參考端)或冷端,回路中將形成一個(gè)電動(dòng)勢,該電動(dòng)勢的方向和大小和導(dǎo)體材料與兩接點(diǎn)溫度相關(guān)【晶圓測溫系統(tǒng)】
這類現(xiàn)條稱之為“熱電效應(yīng)”,2種導(dǎo)體所組成的回路稱之為“熱電偶",這兩類導(dǎo)體稱之為“熱電極”,所產(chǎn)生的電動(dòng)勢則稱為“熱電動(dòng)勢”
熱電偶的特點(diǎn)【晶圓測溫系統(tǒng)】
1、裝配簡易,替換便捷
2壓簧式感溫元件,抗表性能好
3、測量精度高
測量范圍大(-200C~1300C,特殊情況下-270°C~2800C):
5、熱響應(yīng)時(shí)間快:
6、機(jī)械強(qiáng)度高,耐壓性能強(qiáng)
7、耐高溫可以達(dá)到2800度:
8.使用壽命長
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