碳化硅載盤（也成碳化硅托盤）在半導(dǎo)體行業(yè)具有廣泛應(yīng)用，CVD、RTP/RTA、真空濺射、刻蝕、蒸鍍、氣體沉淀等，比如，在對襯底進(jìn)行刻蝕時，需通過碳化硅載盤承載半導(dǎo)體襯底。 碳化硅載盤材質(zhì)成分是純SiC（純度＞99.9%），與石墨基載盤相比，其使用壽命是后者的四倍，且長期使用不變形，穩(wěn)定性好，能夠耐各種強(qiáng)酸強(qiáng)堿化學(xué)試劑腐蝕（比如FH酸、濃H2SO4）。SiC載...
