廣東瑞樂(lè)科技專注于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定做，為半導(dǎo)體行業(yè)提供科學(xué)的國(guó)產(chǎn)解決方法，更多有關(guān)快速退火爐 ?TC Wafer??晶圓測(cè)溫系統(tǒng)資訊請(qǐng)關(guān)注瑞樂(lè)官網(wǎng)。

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刻蝕設(shè)備RTD晶圓測(cè)溫系統(tǒng)（RTDWafer）

RTD WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT

SYSTEM FOR ETCHING EQUIPMENT

Thermo-349R【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

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Thermo-349R系列RTD晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)，可用于8-12英寸晶圓配置，記錄等離子刻蝕工藝環(huán)境對(duì)真實(shí)工藝條件下生產(chǎn)晶圓的影響。Thermo-349R溫度測(cè)量系統(tǒng)包含高精度溫度傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓整體溫度監(jiān)測(cè)，而這與半導(dǎo)體刻蝕工藝的均勻性控制密切相關(guān)。配合TCWafer溫度數(shù)據(jù)讀取適配的多功能儀器。內(nèi)含軟件可以讀取TCWafer測(cè)溫?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行分析。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

傳輸通道數(shù)量可定制；

優(yōu)異的軟件功能,可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況；

數(shù)據(jù)可儲(chǔ)存調(diào)用；

可提供各個(gè)量溫點(diǎn)的溫度曲線圖及溫度剖面圖。【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

廣東瑞樂(lè)科技專注于高精度溫測(cè)、溫控設(shè)備的生產(chǎn)和研發(fā)定做，為半導(dǎo)體行業(yè)提供科學(xué)的國(guó)產(chǎn)解決方法，更多有關(guān)快速退火爐 ?TC Wafer??晶圓測(cè)溫系統(tǒng)資訊請(qǐng)關(guān)注瑞樂(lè)官網(wǎng)。

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