【 晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 】晶圓熱電偶溫度傳感器是一種用于測(cè)量晶圓表面溫度設(shè)備。它利用熱電效應(yīng)來(lái)測(cè)量溫度，通過(guò)直接鑲嵌于晶圓表面的方式，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓在加工過(guò)程中的溫度波動(dòng)。 這類傳感器的應(yīng)用非常廣泛，例如在半導(dǎo)體工業(yè)中，可以幫助技術(shù)工程師熟悉半導(dǎo)體設(shè)備的溫度分布和溫度均勻度，及其監(jiān)控設(shè)備在熱處理過(guò)程中的溫度波動(dòng)。通過(guò)這種傳感器，技術(shù)工程師可以更加精確地控制制程溫...
【 晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 】 無(wú)線晶圓（Wafer）通常是指嵌入了無(wú)線通信功能的晶圓，用以在半導(dǎo)體制造過(guò)程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓的各種參數(shù)，如溫度、壓力、濕度等，無(wú)線晶圓測(cè)試系統(tǒng)是一種用于對(duì)集成電路（IC）晶圓進(jìn)行測(cè)試和分析的系統(tǒng)，主要是通過(guò)無(wú)線通信技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶圓與測(cè)試設(shè)備之間的數(shù)據(jù)傳輸，從而提供更靈活的測(cè)試方案。以下是無(wú)線晶圓測(cè)試系統(tǒng)的工作原理： 傳感器和電路嵌入：在晶圓制...
【 快速退火爐 】（RapidThermalProcessing簡(jiǎn)稱RTP）這是一種在短時(shí)間內(nèi)對(duì)設(shè)備進(jìn)行高溫加熱和冷卻的技術(shù)。 快速退火爐的原理是應(yīng)用高功率的激光或者電阻加熱使試品快速升溫到所需的溫度，隨后通過(guò)調(diào)節(jié)升溫時(shí)間和冷卻速率，使試品在高溫下保持足夠的時(shí)間，并立即冷卻到室溫。這一類高速加熱和冷卻的環(huán)節(jié)可以有效地改善材料的特性。 【 快速退火爐 】 的用...
碳化硅（SiC）是制造半導(dǎo)體器件及材料的優(yōu)良材料之一，但其在工藝流程中，會(huì)不可避免產(chǎn)生晶格缺陷等情況，而快速退火能夠?qū)崿F(xiàn)金屬合金、雜質(zhì)激活、晶格修復(fù)等目的。在近些年高速發(fā)展的化合物半導(dǎo)體、光電子、先進(jìn)集成電路等細(xì)分領(lǐng)域，快速退火發(fā)揮了無(wú)法取代作用。 01快速退火在化合物半導(dǎo)體中的應(yīng)用【 快速退火爐 】 碳化硅（SiC）是由碳元素和硅元素組成中的一種化合物半導(dǎo)...
快速退火爐是當(dāng)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過(guò)程中的重要裝備【 快速退火爐 】 主要運(yùn)用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、發(fā)展高質(zhì)量氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。伴隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,發(fā)展快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)研究,對(duì)我國(guó)研發(fā)與研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,具有極其重要的指導(dǎo)意義及工程實(shí)用價(jià)值。 本文針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系...
快速退火爐和管式爐是熱處理設(shè)備中的兩種常見(jiàn)類型，他們?cè)诮Y(jié)構(gòu)和外觀、加熱方式、環(huán)境溫度、加熱速度以及應(yīng)用領(lǐng)域等方面存在某些明顯的差別。 【 RTP快速退火爐 】 一、結(jié)構(gòu)和外觀 快速退火爐一般是一種扁平或矩形的熱處理設(shè)備，其內(nèi)部有一條或多條加熱元素，通常位于上方或底部。這種加熱元素能通過(guò)輻射傳熱作用于試品表面，使其快速加熱和冷卻。在快速退火爐中，試品一般直接放...
下面幾種測(cè)溫方法，也不能完全適用于芯片各環(huán)節(jié)的溫度檢測(cè)，這樣的話，怎樣才能做到精準(zhǔn)高效測(cè)溫？【 TC WAFER 】 芯片溫度檢測(cè)，你知道哪些方法？ ●應(yīng)用熱電偶測(cè)量（接觸式測(cè)溫，易產(chǎn)生誤差） ●參照經(jīng)典的結(jié)溫方程（TJ=TA+PD?JA）計(jì)算溫度（相對(duì)保守，與實(shí)際溫度差別較大） ●利用二極管作為溫度傳感器來(lái)檢測(cè)（只適用于某些特定情況） 紅外熱像儀是一種非接...
近幾年來(lái)，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)需求也大幅增長(zhǎng)，如何最大限度地提高生產(chǎn)效率并降低不合格率成為半導(dǎo)體制造廠商的現(xiàn)實(shí)需求。半導(dǎo)體產(chǎn)品因其產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和制造工藝的精密性和復(fù)雜性，生產(chǎn)過(guò)程中任何一個(gè)節(jié)點(diǎn)的微小瑕疵都有可能在產(chǎn)品性能、穩(wěn)定性和安全性上留下隱患。計(jì)算機(jī)視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)作為實(shí)現(xiàn)智能制造的核心技術(shù)之一，在半導(dǎo)體制造這種典型性智能化工廠場(chǎng)景下被廣泛使...
快速退火爐主要是用于快速熱處理、熱氧化處理、高溫退火的設(shè)備，采用先進(jìn)微電腦控制系統(tǒng)，使用PID閉環(huán)控制溫度，能夠達(dá)到極高的控溫精度和溫度均勻性，并目可配置真空腔體，也可根據(jù)用戶工藝需求配置多路氣體。 【 快速退火爐 】基本功能及特點(diǎn): 1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作是圖文界面，操作簡(jiǎn)便 2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行穩(wěn)定無(wú)抖動(dòng)。 3、爐管可自由移動(dòng)，...
一、 【 TCWafer 】 晶圓熱電偶工作原理 1.1TCWafer晶圓熱電偶工作原理TCWafer晶圓熱電偶是一類借助熱電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)溫度測(cè)量的傳感器。工作原理是運(yùn)用兩種不同金屬材質(zhì)所組成的熱偶片，在溫度梯度的影響下，形成電動(dòng)勢(shì)，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)溫度的測(cè)量。 1.2【 TCWafer 】晶圓熱電偶特點(diǎn) TCWafer晶圓熱電偶具有超性能、控制成本和適應(yīng)性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。...
實(shí)時(shí)晶圓溫度檢測(cè)系統(tǒng)是用以監(jiān)測(cè)和測(cè)量半導(dǎo)體晶圓溫度的系統(tǒng)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，晶圓的溫度是一個(gè)很重要的參數(shù)，它直接影響電子器件的性能和可靠性?！?晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 】 那樣晶圓溫度測(cè)量在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中是非常重要性，對(duì)電子器件的性能和可靠性產(chǎn)生直接影響。下面是晶圓溫度測(cè)量幾個(gè)重要方面： 制程控制和優(yōu)化：晶圓的溫度是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)。不一樣的的工藝步...
半導(dǎo)體行業(yè) 快速退火爐（RTP） 是一種加熱設(shè)備，能夠在短時(shí)間內(nèi)將半導(dǎo)體材料快速加熱至高溫度，并且通過(guò)快速冷卻的形式使其達(dá)到極高的溫度梯度?？焖偻嘶馉t在半導(dǎo)體材料制造中廣泛應(yīng)用，如CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長(zhǎng)以及拋光后退火等。 一、快速退火爐原理 半導(dǎo)體行業(yè)快速退火爐根據(jù)高功率的電熱元件，如加熱電阻來(lái)產(chǎn)生高溫。在快速退火爐中，一般...
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷的進(jìn)步的應(yīng)用，晶圓測(cè)溫在蝕刻機(jī)中的具體的應(yīng)用取得了更進(jìn)一步完善和強(qiáng)化，晶圓測(cè)溫在蝕刻機(jī)里的作用是監(jiān)測(cè)晶圓在蝕刻過(guò)程中的溫度的變化，從而控制蝕刻環(huán)節(jié)的均勻性，防止晶圓因過(guò)熱而損壞?！?晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 】 1.精良的溫度監(jiān)控和改進(jìn)：現(xiàn)代蝕刻技術(shù)對(duì)溫度監(jiān)控要求也越來(lái)越高，特別是在納米尺度的工藝中。晶圓測(cè)溫技術(shù)不但可以實(shí)時(shí)檢測(cè)晶圓表面溫度的變化，還可...
【 快速退火爐 】以碘鎢燈管為發(fā)熱元件，升溫速度極快，用S型熱電偶測(cè)溫并采用模糊PID控制，具有較高的控溫精度<±5℃>，快速退火爐具有真空裝置，可以在多種氣氛下工作。 下面讓我們一起來(lái)了解一下快速退火爐維修常見(jiàn)問(wèn)題吧 1.爐子*使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后用，避免損壞爐膛開(kāi)裂。爐溫最好不要超過(guò)額定溫度，避免損壞...
【 TC WAFER 】是使用特殊加工工藝將耐高溫傳感器（即TC）鑲嵌于晶圓表面特定位置，從而可實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度實(shí)時(shí)測(cè)量的溫度傳感器。 TC（ThermoCouple）為熱電偶的簡(jiǎn)稱，Wafer即晶圓。通過(guò)TCWafer可獲得晶圓特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整體晶圓的溫度分布情況；也可用于持續(xù)監(jiān)控在熱處理制程中晶圓瞬態(tài)溫度變化，比如：升溫，降溫，恒溫過(guò)程及延...
