一種新型碳化硅退火爐高溫腔體的制作方法【快速退火爐】

1.本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造相關(guān)用具技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種新型碳化硅快速退火爐高溫腔體。

背景技術(shù)：

2.退火爐高溫腔體是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能，熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的，但它在實(shí)際使用中仍存在以下弊端：

3.1、現(xiàn)有的退火爐高溫腔體無(wú)法在其上部快速安裝它自身燃燒所需的燃料的裝載體，從而導(dǎo)致只能將其燃料裝載體放置在退火爐高溫腔體外部，十分占用空間；

4.2、現(xiàn)有的退火爐高溫腔體與鼓風(fēng)機(jī)通常為一體化設(shè)計(jì)，無(wú)法快速的對(duì)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行結(jié)構(gòu)上的拆裝，不利于后期鼓風(fēng)機(jī)損壞進(jìn)行更換維修。

5.因此，現(xiàn)有的一種新型碳化硅退火爐高溫腔體，無(wú)法滿足實(shí)際使用中的需求，所以市面上迫切需要能改進(jìn)的技術(shù)，以解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

6.本實(shí)用新型的目的在于提供一種新型碳化硅退火爐高溫腔體，通過(guò)設(shè)置安裝機(jī)構(gòu)和連接機(jī)構(gòu)，解決了現(xiàn)有的退火爐高溫腔體無(wú)法在其上部快速安裝它自身燃燒所需的燃料的裝載體，從而導(dǎo)致只能將其燃料裝載體放置在退火爐高溫腔體外部，十分占用空間；現(xiàn)有的退火爐高溫腔體與鼓風(fēng)機(jī)通常為一體化設(shè)計(jì)，無(wú)法快速的對(duì)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行結(jié)構(gòu)上的拆裝，不利于后期鼓風(fēng)機(jī)損壞進(jìn)行更換維修的問(wèn)題。【快速退火爐】

7.為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

8.本實(shí)用新型為一種新型碳化硅退火爐高溫腔體，包括腔體本體、安裝機(jī)構(gòu)和連接機(jī)構(gòu)，所述腔體本體商標(biāo)賣女中部固定連接有安裝機(jī)構(gòu)，且安裝機(jī)構(gòu)包括安裝塊和連接鋼槽，所述安裝塊之間的兩側(cè)上部固定連接有連接鋼槽；

9.所述腔體本體一端上中部緊固連接有連接機(jī)構(gòu)，且連接機(jī)構(gòu)包括連接筒和法蘭盤，所述法蘭盤固定連接在連接筒的內(nèi)端。

10.進(jìn)一步地，所述腔體本體底面外部設(shè)置有底座，且底座前端上部固定連接有弧形梯，所述弧形梯另一端固定連接在連接鋼槽前端表面中部，由設(shè)置的底座，用于連接弧形梯和對(duì)腔體本體進(jìn)行支撐，由設(shè)置的連接鋼槽，便于對(duì)燃料裝載體進(jìn)行固定。【快速退火爐】

11.進(jìn)一步地，所述腔體本體底面兩端中部固定連接有支座，且腔體本體一端表面固定連接有固定圈，所述固定圈表面固定連接有軸套，由設(shè)置的支座，用于對(duì)腔體本體進(jìn)行支撐，由設(shè)置的固定圈，用于固定軸套，并由設(shè)置的軸套，用于使轉(zhuǎn)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

12.進(jìn)一步地，所述軸套內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)軸外端固定連接有第一圓門，所述第一圓門外表面一側(cè)中部固定連接有第一把手，由設(shè)置的轉(zhuǎn)軸，用于使第一圓門可進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，由設(shè)置的第一把手，便于對(duì)第一圓門施加力的作用，從而使其進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

13.進(jìn)一步地，所述連接筒外端表面中部固定連接有鼓風(fēng)機(jī)，且鼓風(fēng)機(jī)的輸入端固定連接有吸風(fēng)口，由設(shè)置的鼓風(fēng)機(jī)，用于對(duì)腔體本體中引入空氣，從而使腔體本體內(nèi)的燃燒更加的充分，由吸風(fēng)口的設(shè)置，用于將空氣吸入到鼓風(fēng)機(jī)中鼓出。

14.進(jìn)一步地，所述腔體本體另一端下中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有弧門，且弧門外表面內(nèi)端中部固定連接有第二把手，所述腔體本體底面一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二圓門，且第二圓門底面一側(cè)中部固定連接有第三把手，由設(shè)置的弧門，便于在需要的時(shí)候?qū)η惑w本體內(nèi)進(jìn)行觀察，由設(shè)置的第二把手，便于將弧門打開和關(guān)閉，由設(shè)置的第三把手，便于將第二圓門打開和關(guān)閉。

15.本實(shí)用新型具有以下有益效果：

16.1、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置安裝機(jī)構(gòu)，具有節(jié)約工作場(chǎng)地空間的優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的退火爐高溫腔體無(wú)法在其上部快速安裝它自身燃燒所需的燃料的裝載體，從而導(dǎo)致只能將其燃料裝載體放置在退火爐高溫腔體外部，十分占用空間的問(wèn)題，當(dāng)在對(duì)退火爐高溫腔體的燃料載體進(jìn)行安裝時(shí)，將裝載體放置在安裝機(jī)構(gòu)上，通過(guò)其箱配套的緊固件，將其緊固連接在安裝機(jī)構(gòu)上的安裝塊和連接鋼槽上即可，使用相反的方式，即可將其從安裝機(jī)構(gòu)上拆卸下來(lái)。【快速退火爐】

17.2、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置連接機(jī)構(gòu)，具有對(duì)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行維修更換優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的退火爐高溫腔體與鼓風(fēng)機(jī)通常為一體化設(shè)計(jì)，無(wú)法快速的對(duì)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行結(jié)構(gòu)上的拆裝，不利于后期鼓風(fēng)機(jī)損壞進(jìn)行更換維修的問(wèn)題，將鼓風(fēng)機(jī)的輸出端與連接機(jī)構(gòu)上的連接筒的一端固定連接，然后再將連接筒另一端通過(guò)法蘭盤緊固連接在腔體本體的一端部，即可使鼓風(fēng)機(jī)與腔體本體之間便于拆裝，當(dāng)需要拆卸時(shí)，逆時(shí)針擰動(dòng)法蘭盤上的螺栓即可，反之則進(jìn)行安裝。

18.當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

19.為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

20.圖1為本實(shí)用新型正面斜視結(jié)構(gòu)示意圖；

21.圖2為本實(shí)用新型背面斜視結(jié)構(gòu)示意圖；

22.圖3為本實(shí)用新型底面斜視結(jié)構(gòu)示意圖。

23.附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下：

24.1、腔體本體；2、弧形梯；3、底座；4、轉(zhuǎn)軸；5、支座；6、安裝機(jī)構(gòu)；61、安裝塊；62、連接鋼槽；7、軸套；8、第一把手；9、第一圓門；10、固定圈；11、吸風(fēng)口；12、鼓風(fēng)機(jī)；13、連接機(jī)構(gòu)；131、連接筒；132、法蘭盤；14、弧門；15、第二把手；16、第三把手；17、第二圓門。

具體實(shí)施方式

25.下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

26.請(qǐng)參閱圖

3所示，本實(shí)用新型為一種新型碳化硅退火爐高溫腔體，包括腔體本體

1、安裝機(jī)構(gòu)6和連接機(jī)構(gòu)13，腔體本體1商標(biāo)賣女中部固定連接有安裝機(jī)構(gòu)6，且安裝機(jī)構(gòu)6包括安裝塊61和連接鋼槽62，安裝塊61之間的兩側(cè)上部固定連接有連接鋼槽62；

27.腔體本體1一端上中部緊固連接有連接機(jī)構(gòu)13，且連接機(jī)構(gòu)13包括連接筒131和法蘭盤132，法蘭盤132固定連接在連接筒131的內(nèi)端，當(dāng)在對(duì)退火爐高溫腔體的燃料載體進(jìn)行安裝時(shí)，將裝載體放置在安裝機(jī)構(gòu)6上，通過(guò)其箱配套的緊固件，將其緊固連接在安裝機(jī)構(gòu)6上的安裝塊61和連接鋼槽62上即可，使用相反的方式，即可將其從安裝機(jī)構(gòu)6上拆卸下來(lái)；

28.將鼓風(fēng)機(jī)12的輸出端與連接機(jī)構(gòu)13上的連接筒131的一端固定連接，然后再將連接筒131另一端通過(guò)法蘭盤132緊固連接在腔體本體1的一端部，即可使鼓風(fēng)機(jī)12與腔體本體1之間便于拆裝，當(dāng)需要拆卸時(shí)，逆時(shí)針擰動(dòng)法蘭盤132上的螺栓即可，反之則進(jìn)行安裝。

29.其中如圖1

3所示，腔體本體1底面外部設(shè)置有底座3，且底座3前端上部固定連接有弧形梯2，弧形梯2另一端固定連接在連接鋼槽62前端表面中部，通過(guò)設(shè)置的底座3，連接弧形梯2和對(duì)腔體本體1進(jìn)行支撐，通過(guò)設(shè)置的連接鋼槽62，對(duì)燃料裝載體進(jìn)行固定，使其拆裝起來(lái)更加的便捷，節(jié)約了空間；

30.腔體本體1底面兩端中部固定連接有支座5，且腔體本體1一端表面固定連接有固定圈10，固定圈10表面固定連接有軸套7，通過(guò)設(shè)置的支座5，對(duì)腔體本體1進(jìn)行支撐，通過(guò)設(shè)置的固定圈10，從而將軸套7固定，并通過(guò)設(shè)置的軸套7，使轉(zhuǎn)軸4進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；

31.軸套7內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸4，且轉(zhuǎn)軸4外端固定連接有第一圓門9，第一圓門9外表面一側(cè)中部固定連接有第一把手8，通過(guò)設(shè)置的轉(zhuǎn)軸4，使第一圓門9可進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)設(shè)置的第一把手8，方便對(duì)第一圓門9施加力的作用，從而使其進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；

32.腔體本體1另一端下中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有弧門14，且弧門14外表面內(nèi)端中部固定連接有第二把手15，腔體本體1底面一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二圓門17，且第二圓門17底面一側(cè)中部固定連接有第三把手16，通過(guò)設(shè)置的弧門14，方便在需要的時(shí)候?qū)η惑w本體1內(nèi)進(jìn)行觀察通過(guò)設(shè)置的第二把手15，便于將弧門14打開和關(guān)閉，通過(guò)設(shè)置的第三把手16，便于將第二圓門17打開和關(guān)閉，對(duì)第二把手15和第三把手16施加力的作用，即可將二者打開。【快速退火爐】

33.其中如圖2所示，連接筒131外端表面中部固定連接有鼓風(fēng)機(jī)12，且鼓風(fēng)機(jī)12的輸入端固定連接有吸風(fēng)口11，通過(guò)設(shè)置的鼓風(fēng)機(jī)12，從而將空氣引入到腔體本體1中，進(jìn)一步使腔體本體1內(nèi)的燃燒更加的充分，通過(guò)吸風(fēng)口11的設(shè)置，將空氣吸入到鼓風(fēng)機(jī)12中鼓出。

34.以上僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并不限制本實(shí)用新型，任何對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)，均屬于在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

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