【快速退火爐】是用于制作半導(dǎo)體元器件制作工藝，主要包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響它們電性能。熱處理是為了不同的需求而設(shè)計(jì)。能夠加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面，密集沉積薄膜，更改生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，將摻雜劑由一個(gè)薄膜移動(dòng)或轉(zhuǎn)移到其他薄膜，也可以從薄膜進(jìn)入晶片襯底。

這樣的話快速退火爐分為哪幾種呢？

一、鋁合金快速退火爐。

主要運(yùn)用于鋁合金、鋁板的熱處理和均熱退火。

鋁合金快速退火爐由臺(tái)車(chē)爐體、循環(huán)系統(tǒng)、導(dǎo)流設(shè)備、加熱元件、裝料臺(tái)車(chē)、爐門(mén)升降機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。

二、井式真空快速退火爐。

主要用于圓線材和鋼帶退火。真空加熱退火，不滲氮不脫碳，使工件退火后保持光亮。真空快速退火爐主要是由爐體、爐襯、真空泵、循環(huán)風(fēng)機(jī)和電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。

三、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐。

它是由加熱爐、冷卻器、放卷機(jī)構(gòu)和電控系統(tǒng)構(gòu)成。

主要應(yīng)用于不銹鋼絲、銅線、鐵絲等等的光亮退火。

四、井式快速退火爐。

主要用于圓線材和不銹鋼線材，拉伸前退火，氧化少，無(wú)脫碳，使工件退火后始終保持整齊有序。特點(diǎn)：可配置多臺(tái)爐，多工位操作可節(jié)省人力資源，提高工作效率，節(jié)能降耗，降低成本。

五、臺(tái)車(chē)式快速退火爐主要運(yùn)用于銅排、鑄鋼件、汽車(chē)零部件、軋輥、鋼球、金屬結(jié)構(gòu)件及焊件的正火及退火熱處理。臺(tái)車(chē)式快速退火爐主要是由爐門(mén)升降和密封設(shè)備、爐車(chē)、爐車(chē)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、電加熱設(shè)備和溫度控制系統(tǒng)構(gòu)成。可以在水平地面使用，不需要基礎(chǔ)組裝。

六、罩式快速退火爐。

此設(shè)備可廣泛應(yīng)用于有色金屬銅、鋁合金、黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼及其他卷、卷、線等等的退火。沒(méi)有氮化和脫碳，使工件退火后能保持整齊有序。該快速退火爐具有生產(chǎn)效率高、產(chǎn)品品質(zhì)好、能耗低、無(wú)污染、自動(dòng)化操作、安全靠譜等優(yōu)勢(shì)。罩式爐由加熱罩、2個(gè)爐座、閥門(mén)框架和電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。

七、網(wǎng)帶式不銹鋼快速退火爐。

它是由進(jìn)料臺(tái)、加熱區(qū)、冷卻段、氨分解爐、電氣控制系統(tǒng)等部分組成。主要是適合各種不銹鋼、銅、鐵制品在保障氣氛控制下的連續(xù)光亮退火和固溶處理。