在半導體制造過程中,精確的溫度控制是確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。TC Wafer,作為一種先進的晶圓測溫系統(tǒng),正是為滿足這一需求而誕生的?!?a title="TC Wafer" href="http://antari.com.cn/" target="_blank" rel="noopener">TC Wafer】
【TC Wafer】采用了將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面的設計,能夠?qū)崟r測量晶圓表面的溫度。通過晶圓上的測溫點,工程師可以了解到晶圓特定位置的真實溫度以及整體的溫度分布。這不僅有助于監(jiān)控半導體設備控溫過程中的溫度變化,還能提供升溫、降溫及恒溫過程的數(shù)據(jù),從而全面了解設備的溫度均勻度。
TC Wafer的特點顯著:
此外,【TC Wafer】還具有優(yōu)異的軟件功能,可以用圖形和顏色直觀地顯示溫度分布狀況,提供溫度曲線圖,方便用戶直觀地看到溫度變化趨勢。
總的來說,【TC Wafer】以其高精度、強穩(wěn)定性和快速響應等特點,為半導體制造行業(yè)提供了有效的測溫解決方案,助力行業(yè)實現(xiàn)更高質(zhì)量的產(chǎn)品生產(chǎn)。