什么叫探針臺？

探針臺是放置晶圓然后進行溫度控制的平臺。它一般配備有很多微細探針，用以與晶圓表層的指定區(qū)域觸碰，并進行溫度測量和電性能測試。【TC Wafer】

探針臺的運行基本原理取決于通過探針與被測器件上的PAD點精準對位，并實現(xiàn)測試機輸出激勵信號的互通與信號反饋，最后獲取和采集測試數(shù)據(jù)。高低溫真空探針臺能夠很好的滿足極低溫測試和高溫無氧化測設。在整體測試過程中，工程師們向往以最快的時間獲取可信賴的測試數(shù)據(jù)。

高低溫晶圓探針臺要確保

1）溫度的均勻穩(wěn)定性；為晶圓測試提供精確的溫度環(huán)境，既反應探針臺機械的穩(wěn)定性，又是影響測試數(shù)據(jù)真實結果的關鍵；

2）升降溫速率；探針臺的升降溫速率是一項關鍵的指標。低溫測試時，防止空氣中水蒸氣在樣品上凝結成露水，從而減少漏電過大或探針沒法觸碰電極而使測試失敗。與此同時，在真空環(huán)境中，傳熱的形式影響下，能更高效的提高制冷效率。高溫測試時，在真空環(huán)境下，也可以最大限度地減少樣品氧化，從而減少樣品電性誤差、物理和機械上的形變。

【TC Wafer】

瑞樂科技TC-Wafer高低溫探針臺晶圓測溫系統(tǒng)應用于高低溫晶圓探針臺，測量精度可達mk級別，可以多區(qū)測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布狀況，還能夠監(jiān)控半導體行業(yè)控溫環(huán)節(jié)中晶圓所發(fā)生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫環(huán)節(jié)中設備實效性。

瑞樂科技還提供了整個試驗室流程的有線溫度計量，保證溫度傳感器的長期測量精度。

廣東瑞樂科技專注于高精度溫測、溫控設備的生產(chǎn)和研發(fā)定做，為半導體行業(yè)提供科學的國產(chǎn)解決方法，更多有關TC Wafer咨詢請關注瑞樂官網(wǎng)。