【快速退火爐】（RapidThermalProcessing，簡(jiǎn)稱RTP），是通過紅外燈管加熱技術(shù)和腔體冷壁技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，從而實(shí)現(xiàn)特定熱處理工藝。最主要的應(yīng)用范圍是指集成電路領(lǐng)域（以硅為代表的第一代半導(dǎo)體）和光電子領(lǐng)域（以砷化鎵代表的第二代半導(dǎo)體）為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工藝中，熱處理/退火是必不可少的工藝，主要是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件都是為達(dá)到功能化，也就是說電信號(hào)的輸入/輸出，這些都要金屬電極來協(xié)助完成。想要能得到好的接觸，就必須通過退火/擴(kuò)散工藝來進(jìn)行優(yōu)化。當(dāng)然，金屬合金化只是快速退火爐其中一個(gè)也是較為重要的一個(gè)功能，在別的相關(guān)行業(yè)還有其他運(yùn)用。

因此可見，快速退火爐是半導(dǎo)體工藝設(shè)備中極其關(guān)鍵的一份子。但是，如何選擇快速退火爐，也是廣大科研人員的一件難事。要么價(jià)格高超了經(jīng)費(fèi)預(yù)算！要么買了卻用不上，設(shè)備性能滿足不了工藝參數(shù)！或者，購買后問題不斷，售后維修服務(wù)也難求！為此，今天就為大家講一講，快速退火爐的關(guān)鍵參數(shù)和信息。我們從以下幾個(gè)層面篩選，就能少走彎路！

一、生產(chǎn)商

俗話說得好，打鐵還需自身硬！1個(gè)好的產(chǎn)品，離不了1個(gè)好企業(yè)！一個(gè)公司一定要通過專利不斷積累技術(shù)儲(chǔ)備，還有不脫離市場(chǎng)和用戶的態(tài)度，才可以生產(chǎn)出來一個(gè)滿足用戶預(yù)期的產(chǎn)品。所以，挑選快速退火爐首先要考慮生產(chǎn)廠家硬核實(shí)力！

二、售后維修服務(wù)

售后維修服務(wù)是保障廣大用戶權(quán)益的重要保障。孰能無過，孰能無過，儀器設(shè)備亦是如此。儀器設(shè)備在日常操作中，在所難免因?yàn)橐恍┮蛩囟l(fā)生各種各樣故障問題。各種問題很可能導(dǎo)致整個(gè)項(xiàng)目課題進(jìn)程的落后甚至是暫停。所以，選一個(gè)能提供相應(yīng)的售后維修服務(wù)且能夠現(xiàn)場(chǎng)解決問題廠商極其關(guān)鍵。

三、性能參數(shù)

快速退火爐一般是由溫度控制系統(tǒng)、真空維持系統(tǒng)、水冷循環(huán)系統(tǒng)、氣氛處理系統(tǒng)和PC操作系統(tǒng)等組成。其主要的性能參數(shù)都是對(duì)應(yīng)上述幾個(gè)主要的組成系統(tǒng)。性能參數(shù)的好壞，都是取決于【快速退火爐】是否符合樣品的工藝指標(biāo)。今日，為大家介紹一下快速退火爐及其關(guān)鍵幾個(gè)性能參數(shù)。

1.最高溫度。

簡(jiǎn)而言之，最高溫度便是快速退火爐能加熱升溫的最高溫度點(diǎn)，那也是快速退火爐最主要的參數(shù)指標(biāo)之一。而且這個(gè)主要參數(shù)常常以十分直觀地形式表現(xiàn)在溫控表或數(shù)顯平臺(tái)上。但很多人都不知道是指，有一些生產(chǎn)廠家標(biāo)識(shí)的最高溫度其實(shí)不是樣品臺(tái)或是樣品可以達(dá)到溫度。這種生產(chǎn)廠家會(huì)將爐膛內(nèi)的測(cè)溫單元偏離樣品臺(tái)，放到接近加熱源的一端。如此一來，測(cè)溫單元的最高溫度就可以達(dá)到其宣稱的最高溫度。可事實(shí)上，樣品臺(tái)或是樣品的溫度根本沒辦法到達(dá)這一溫度。

同時(shí)還值得關(guān)注的是，在最高溫度整體穩(wěn)定性和持續(xù)性也需要關(guān)注。某這些設(shè)備不但無法滿足工藝指標(biāo)，并且易造成樣品的損壞。

2.升/降溫速率。

快速退火爐的“快速”二字便足以證明升/降溫速率快的重要程度。因而， 從另外幾個(gè)地方說說升/降溫速率。首要有關(guān)升溫速率，我們應(yīng)該關(guān)心的是實(shí)際溫度（SV）和設(shè)置溫度（PV）的跟隨性。在溫度監(jiān)測(cè)的線型圖（能實(shí)時(shí)檢測(cè)升溫過程中的溫度變化，這個(gè)功能對(duì)快速退火爐很重要）中，SV和PV曲線的重合度越高，表示該退火爐的控溫精度越好。如下圖，上方的線型圖便展示了SV和PV的溫度變化。

次之至于降溫速率，各大生產(chǎn)廠家采用的降溫手段基本相同，是指通過冷卻氣氛達(dá)到快速降溫效果。大家要注意的是冷卻氣氛的氣體流量控制方式和精度以及相關(guān)安全防護(hù)。

3.溫度均勻性

快速退火爐的溫度均勻性，便是有效加熱區(qū)內(nèi)的溫度穩(wěn)定在目標(biāo)溫度后，樣品上不同點(diǎn)位的溫度的最大值和最小值之差。這一主要參數(shù)關(guān)系著退火效果的質(zhì)量。對(duì)此，國(guó)標(biāo)GB/T9452-2012《熱處理爐有效加熱區(qū)測(cè)定方法》中明確的要求。

4.安全防護(hù)

近些年，高校實(shí)驗(yàn)室的安全事件屢屢發(fā)生。這種安全事故不但導(dǎo)致了直接經(jīng)濟(jì)損失，并且對(duì)實(shí)驗(yàn)者也造成了無法磨滅影響。辛辛苦苦十幾載，一朝安全事故功名敗。因此，大家在選擇快速退火爐一定要注意它的安全保障措施。【快速退火爐】的安全保障措施一般有緊急開關(guān)、爐壁高溫報(bào)警、腔室安全閥和艙門誤操作報(bào)警等。安全防范措施越多，設(shè)備安全系數(shù)也就越高，我們自己的人身安全就會(huì)更安全可靠。