【快速退火爐】（RapidThermalProcessing，簡(jiǎn)稱(chēng)RTP），是由紅外燈管加熱技術(shù)和腔體冷壁技術(shù)，完成快速升溫和降溫，從而實(shí)現(xiàn)特定熱處理工藝。最主要的的使用范圍是指集成電路領(lǐng)域（以硅為代表的第一代半導(dǎo)體）和光電子領(lǐng)域（以砷化鎵代表的第二代半導(dǎo)體）為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工藝中，熱處理/退火是必不可少的工藝，根本原因是半導(dǎo)體器件都是為達(dá)到功能化，換句話(huà)說(shuō)電信號(hào)的輸入/輸出，這些都要金屬電極來(lái)協(xié)助完成。需要能得到很好的接觸，就需要通過(guò)退火/擴(kuò)散工藝來(lái)進(jìn)行優(yōu)化。自然，金屬合金化僅僅快速退火爐其中的一個(gè)也是較為重要的一個(gè)功能，在別的相關(guān)領(lǐng)域還有其他的運(yùn)用。

所以由此可見(jiàn)，【快速退火爐】是半導(dǎo)體工藝設(shè)備中極其重要一部分?？墒?，怎么選擇快速退火爐，都是眾多科研人員的一件難事。要不價(jià)格高超了經(jīng)費(fèi)預(yù)算！就是買(mǎi)了卻用不上，設(shè)備性能滿(mǎn)足不了工藝參數(shù)！或是，下單后問(wèn)題不斷，售后服務(wù)也難求！因此，今天就為大家聊一聊，快速退火爐的關(guān)鍵參數(shù)和信息。讓我們從以下一些層面挑選，就可不走彎路！

一、生產(chǎn)商

常言道，打鐵還需自身硬！1個(gè)好產(chǎn)品，離不開(kāi)1個(gè)好公司企業(yè)！一個(gè)企業(yè)需要通過(guò)專(zhuān)利不斷積累技術(shù)儲(chǔ)備，也有不脫離市場(chǎng)和用戶(hù)的觀(guān)念，才可以制作出來(lái)一個(gè)滿(mǎn)足用戶(hù)預(yù)期的的產(chǎn)品。因此，挑選快速退火爐首先要了解生產(chǎn)廠(chǎng)家硬核技術(shù)！

二、售后維修服務(wù)

售后維修服務(wù)是保障廣大用戶(hù)權(quán)益的重要保障。孰能無(wú)過(guò)，孰能無(wú)過(guò)，儀器設(shè)備亦是如此。儀器設(shè)備在日常操作中，在所難免因?yàn)橐恍┮蛩囟l(fā)生各種各樣故障問(wèn)題。各種問(wèn)題很可能導(dǎo)致整個(gè)項(xiàng)目課題進(jìn)程的落后甚至是暫停。所以，選一個(gè)能提供相應(yīng)的售后維修服務(wù)且能夠現(xiàn)場(chǎng)解決問(wèn)題廠(chǎng)商極其關(guān)鍵。

三、性能參數(shù)

【快速退火爐】一般是由溫度控制系統(tǒng)、真空維持系統(tǒng)、水冷循環(huán)系統(tǒng)、氣氛處理系統(tǒng)和PC操作系統(tǒng)等組成。其主要的性能參數(shù)都是對(duì)應(yīng)上述幾個(gè)主要的組成系統(tǒng)。性能參數(shù)的好壞，都是取決于【快速退火爐】是否符合樣品的工藝指標(biāo)。今日，為大家介紹一下快速退火爐及其關(guān)鍵幾個(gè)性能參數(shù)。

1.最高溫度。

簡(jiǎn)而言之，最高溫度便是快速退火爐能加熱升溫的最高溫度點(diǎn)，那也是【快速退火爐】最主要的參數(shù)指標(biāo)之一。而且這個(gè)主要參數(shù)常常以十分直觀(guān)地形式表現(xiàn)在溫控表或數(shù)顯平臺(tái)上。但很多人都不知道是指，有一些生產(chǎn)廠(chǎng)家標(biāo)識(shí)的最高溫度其實(shí)不是樣品臺(tái)或是樣品可以達(dá)到溫度。這種生產(chǎn)廠(chǎng)家會(huì)將爐膛內(nèi)的測(cè)溫單元偏離樣品臺(tái)，放到接近加熱源的一端。如此爐膛內(nèi)的測(cè)溫單元偏離樣品臺(tái)，放進(jìn)接近加熱源的一端。這樣一來(lái)，測(cè)溫單元的最高溫就能達(dá)到其宣稱(chēng)的最高溫度?？蓪?shí)際上，樣品臺(tái)或是樣品的溫度根本沒(méi)法抵達(dá)這一溫度。

另外還值得注意的是，在最高溫度整體穩(wěn)定性和持續(xù)性也需要關(guān)注。某這些設(shè)備不但無(wú)法滿(mǎn)足工藝指標(biāo)，而且容易導(dǎo)致樣品的損壞。

2.升/降溫速率。

【快速退火爐】的“快速”二字便足以證明升/降溫速率快的重要程度。因而，從另外幾個(gè)地方說(shuō)說(shuō)升/降溫速率。主要有關(guān)升溫速率，我們要關(guān)心的是實(shí)際溫度（SV）和設(shè)置溫度（PV）的跟隨性。在溫度監(jiān)測(cè)的線(xiàn)型圖（能實(shí)時(shí)檢測(cè)升溫過(guò)程中的溫度變化，這個(gè)功能對(duì)快速退火爐很重要）中，SV和PV曲線(xiàn)的重合度越高，表示該退火爐的控溫精度越好。如下圖所示，上方線(xiàn)型圖便展示了SV和PV的溫度變化。

次之至于降溫速率，各大生產(chǎn)廠(chǎng)家采用的降溫手段基本相同，是指通過(guò)冷卻氣氛達(dá)到快速降溫效果。大家需要注意的是冷卻氣氛的氣體流量控制方式和精度以及相關(guān)安全防護(hù)。

3.溫度均勻性

快速退火爐的溫度均勻性，便是有效加熱區(qū)內(nèi)的溫度穩(wěn)定在目標(biāo)溫度后，樣品上不同點(diǎn)位的溫度的最大值和最小值之差。這一主要參數(shù)關(guān)系著退火效果的質(zhì)量。對(duì)此，國(guó)標(biāo)GB/T9452-2012《熱處理爐有效加熱區(qū)測(cè)定方法》中明確的要求。

4.安全防護(hù)

近些年，高校實(shí)驗(yàn)室的安全事件屢屢發(fā)生。這種安全事故不但導(dǎo)致了直接經(jīng)濟(jì)損失，并且對(duì)實(shí)驗(yàn)者也造成了無(wú)法磨滅影響。辛辛苦苦十幾載，一朝安全事故功名敗。因此，大家在選擇快速退火爐一定要注意它的安全保障措施。【快速退火爐】的安全保障措施一般有緊急開(kāi)關(guān)、爐壁高溫報(bào)警、腔室安全閥和艙門(mén)誤操作報(bào)警等。安全防范措施越多，設(shè)備安全系數(shù)也就越高，我們自己的人身安全就會(huì)更安全可靠。