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【晶圓測溫系統(tǒng)】溫度傳感器有哪些種類

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溫度傳感器有以下幾種,分別是熱敏電阻傳感器、電熱偶傳感器、溫度傳感器、鉑熱電阻溫度傳感器和數(shù)字輸出傳感器。? ? ?【晶圓測溫系統(tǒng)

熱敏電阻傳感器

熱敏電阻是一類傳感器電阻,其電阻值隨著溫度的變化而改變。按照溫度系數(shù)不同分為正溫度系數(shù)熱敏電阻和負溫度系數(shù)熱敏電阻。正溫度系數(shù)熱敏電阻器的電阻值隨溫度升高而增大,負溫度系數(shù)熱敏電阻器的電阻值隨溫度升高而減小,他們同屬半導體器件。

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電熱偶傳感器

熱電偶傳感器作為工業(yè)中應用最為普遍的接觸式測溫裝置。主要是因為熱電偶具備性能穩(wěn)定、測溫范圍大、信號還可以遠距離傳輸?shù)忍攸c,而且結構簡單、使用便捷。熱電偶能夠將熱能直接轉換為電信號,而且輸出直流電壓信號,使得顯示、記錄和傳輸都能輕松。

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溫度傳感器

溫度傳感器是指能感受溫度并轉換成可用輸出信號的傳感器。溫度傳感器是溫度測量儀表的核心部分,品種繁多。進入21世紀后,溫度傳感器正在向高精度、多功能、總線標準化、高可靠性及安全性、開發(fā)虛擬傳感器和網(wǎng)絡傳感器、研制單片測溫系統(tǒng)等高科技方向快速發(fā)展。

鉑熱電阻溫度傳感器

鉑電阻溫度傳感器是用來測量空氣、土壤和水的溫度傳感器。該傳感器由精密級鉑熱電阻元件和經特殊工藝處理的防護套組成,并且用四芯屏蔽信號電纜線從敏感元件引出用于測量,可以采取四線測量法測量,從而減少導線電阻所引起的測量誤差。鉑電阻溫度傳感器具備極佳的可互換性和長期穩(wěn)定性,用于氣象和環(huán)保等部門。

數(shù)字輸出傳感器? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??晶圓測溫系統(tǒng)

數(shù)字傳感器是指將傳統(tǒng)的模擬式傳感器通過加裝或改造A/D轉換模塊,使之輸出信號為數(shù)字量(或數(shù)字編碼)的傳感器,主要包含:放大器、A/D轉換器、微處理器(CPU)、存儲器、通訊接口、溫度測試電路等。

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